真空系統 SML-1 由一台機械助力泵搭配液封式真空泵構成，可在粗真空至中高真空範圍提供高抽氣速度與穩定運轉，最終真空度可達 3.75 Torr（0.5 kPa[abs]）。系統整合真空計、真空開關、洩壓閥與氣動真空閥等控制元件，具高真空度、高品質、縮短操作時間、節省能源、購置成本低與不佔空間、操作簡便等優點，適合作為各類工業製程的中高真空排氣核心設備。
什麼是真空排氣系統
真空排氣系統通常由兩大部分組成：
- 前級幫浦：如油迴轉式真空幫浦或液封式真空幫浦，負責從大氣壓開始抽氣，並能把氣體直接排放到大氣。
- 機械式真空助力幫浦（如羅茨泵）：在中高真空範圍提供很大的排氣速度，但本身無法直接將氣體壓縮排出到大氣，需要前級幫浦配合。
為什麼要組成系統
- 機械式真空助力幫浦在中高真空區間效率高、抽速大，但不能直接排氣到大氣。
- 油迴轉式與液封式真空幫浦可以直接排到大氣，但在中高真空範圍效率較低。
- 將兩者適當搭配（助力幫浦＋前級幫浦），就能同時兼顧「可排出大氣」與「中高真空時仍有高抽氣速度」，大幅增加整體排氣速度並提高可達真空度。
自動化與操作
整套真空排氣系統會再搭配：真空計、真空開關、洩壓閥、氣動真空閥及其他控制元件，由控制邏輯自動判斷何時啟動或停止助力幫浦。
這樣使用者只要操作主機或面板即可，不必自己計算或判斷機械式真空助力幫浦的啟動時機與操作方法，達到穩定又簡化的自動化操作。
|
型 式 Model |
排氣速度 Capacity m³/h |
最 終 壓 力 Ultimate Press.Torr |
後 段 幫 浦 Backing Pumps |
總 馬 力 Total Power HP |
口 徑 mm(in) |
|
|
Inlet |
Outlet |
|||||
|
SMB65 |
300 |
2(0.2) |
SWV-5D |
2 + 5 |
65 (2.5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
2+5 |
50(2) |
|||
|
SMB80 |
500 |
2(0.2) |
SWV-7D |
3 + 7.5 |
80 (3) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
3+5 |
50(2) |
|||
|
SMB100 |
700 |
2(0.2) |
SWV-10D |
5 + 10 |
100 (4) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-5DW |
5+5 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB65+SWV-5D |
5+3+5 |
50(2) |
|||
|
SMB125A |
1000 |
2(0.2) |
SWV-15 |
7.5 + 15 |
125 (5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-7DW |
7.5+7.5 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB80+SWV-7D |
7.5+3+7.5 |
50(2) |
|||
|
SMB125 |
1500 |
2(0.2) |
SWV-20 |
10 + 20 |
125 (5) |
50(2) |
|
0.2 |
SOV-10DW |
7.5+10 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB100+SWV-15 |
7.5+5+15 |
50(2) |
|||
|
SMB150 |
2000 |
2(0.2) |
SWV-700 |
15 + 40 |
150 (6) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-20DW |
10+20 |
50(2) |
|||
|
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-20 |
10+7.5+20 |
50(2) |
|||
|
SMB200A |
3200 |
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-600 |
15+7.5+30 |
200 (8) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-700W |
15+40 |
80(3) |
|||
|
SMB200 |
4100 |
0.1(0.01) |
SMB125+SWV-700 |
20+10+40 |
200 (8) |
80(3) |
|
0.2 |
SOV-900W |
20+40 |
100(4) |
|||
|
SMB250 |
5400 |
0.1(0.01) |
SMB150+SWV-900 |
25+10+40 |
250 (10) |
100(4) |
|
0.2 |
SOV-900W |
20+50 |
100(4) |
|||
|
SMB300A |
7500 |
0.2 |
SOV-1300W |
30+50 |
300(12) |
100(4) |
|
SMB300 |
9000 |
0.2 |
SOV-1300W |
30+60 |
300(12) |
100(4) |
- 廣泛壓力適用範圍：由前級泵與機械助力泵分工運作，使用範圍可由粗真空延伸至中、高真空，並可依需求選配大氣助力器以進一步改善最終壓力。
- 高抽氣速度與縮短抽氣時間：在中高真空區間由機械助力幫浦提供高排氣速度，明顯縮短從大氣至工作真空的到達時間，提升設備產能。
- 自動化與操作簡易：系統整合真空計、真空開關、氣動真空閥與保護邏輯，可自動判斷壓力區間啟動或停止助力泵，使用者無須另外判斷啟動時機。
- 節能與降低成本：在不同壓力區間以最適合的泵浦工作，可減少不必要的能耗，與單一大泵方案相比兼具較低購置成本與運轉成本。
- 模組化與客製彈性：依實際製程需求可選擇不同排氣速度、極限壓力與前級泵型式（液封式或油迴轉），並可擴充成多機並聯或加入大氣助力器以因應更高抽氣量或更低壓力需求。
SML-1 真空排氣系統適用於需要中、高真空且抽氣量較大的各類工業與製程，例如真空蒸餾、真空脫氣、真空脫水、真空乾燥、真空脫臭、真空冷卻與真空濃縮等熱處理或分離製程。也常用於真空含浸、真空冶金、真空鑄造、真空蒸著、真空燒結、真空絕熱與真空結晶等金屬、材料與保溫產業，以及光學工業、低溫工業、真空研究實驗與真空凍結乾燥等需穩定中高真空的應用。對於含水氣、固體微粒與腐蝕性氣體的濕式製程，更可搭配液封式前級幫浦使用，成為兼具耐受性與高效能的多目的減壓與真空抽氣來源。
